Поиск по сайту
 
Расширенный поиск
 

Вернуться назад

Методы литографии в наноинженерии

Учебный курс предназначен для краткосрочного повышения квалификации преподавателей и научных работников высшей школы по направлению «Наноинженерия» на базе учебного курса «Методы литографии в наноинженерии».

Цель: изучение основных методов и принципов формирования наноразмерных структур различного назначения и факторов, определяющих их качество, с использованием литографических процессов, теоретических законов проекционной оптики и дифракционной теории аберраций, физико-химических основ используемых технологических материалов, принципов работы и динамики развития литографического оборудования, методов повышения разрешающей способности и современных средств моделирования литографического процесса, методов оптимизации типовых параметров литографического процесса с целью повышения его качества. Получение практических навыков работы с новейшими САПР моделирования литографических процессов. Материал курса является основой для изучения других технологических процессов, применяемых при создании наноразмерных структур, в том числе в курсах «Технологии синтеза наноструктур», «Проектирование наносенсоров», «САПР Наносистем» и ряда других.

Задачи дисциплины — получение теоретических и практических навыков разработки и оптимизации литографических процессов, направленных на реинжиниринг правил проектирования, уменьшение размеров элементной базы и повышение выхода годных при конструкторско-технологическом проектировании и производстве электронных устройств с микро- и наноразмерными элементами.

Задачами данного курса является изучение:

  • Методические аспекты преподавания курса в рамках реализации программ подготовки бакалавров/магистров по направлению «Наноинженерия»;
  • Применения литографического процесса в технологических процессах наноинженерии;
  • Разработки маршрутного технологического процесса литографии;
  • Основных законов проекционной оптики и дифракционной теории аберраций;
  • Принципов формирования оптического изображения и факторов, определяющих его качество;
  • Материалов и оборудования литографического процесса;
  • Критериев и методов оптимизации литографического процесса;
  • Структуры, состава и возможностей САПР моделирования литографических процессов;
  • Применения методов повышения разрешающей способности литографии.
  • Краткое содержание
  • Объем (в часах)
  • Шифр
  • Рекомендован для
  • Характер и сложность представленного материала
  • Требования
  • НОЦ
  • Автор(ы)
  • Редактор
  • Направления программ повышения квалификации

    Вернуться назад



    Реферативное содержание лекций:


     
     
    Объявления

    О создании федеральной инновационной площадки на базе порталов www.nano-obr.ru и www.nanoobr.ru

       С принятием Федерального закона № 273 «Об образовании в Российской Федерации» и появлением статьи 15. “Сетевая форма реализации образовательных программ”, а также cтатьи 16. “Реализация образовательных программ с применением электронного обучения и дистанционных образовательных технологий”, применение новых технологий обучения при подготовке кадров и повышении квалификации специалистов для наноиндустрии становиться актуальным. Статья 20. “Экспериментальная и инновационная деятельность в сфере образования” допускает экспериментальную деятельность по разработке, апробации и внедрению новых образовательных технологий, образовательных ресурсов в форме реализации инновационных проектов и программ, имеющих существенное значение для обеспечения развития системы образования, если они признаются федеральными или региональными инновационными площадками.


     05.09.2013

    О координирующей деятельности в образовательном сегменте ННС

    Координирующая деятельность в образовательном сегменте национальной нанотехнологической сети (ННС) поручена НИЯУ МИФИ и СПбГЭТУ ЛЭТИ (решение Совета ННС, протокол от 17 апреля 2013 г. № ИФ-13/14пр).


     04.09.2013

    28 ноября в МЭСИ состоялось совещание по вопросам электронного обучения в России.

    В работе совещания приняли участие заместитель Председателя Правительства Российской Федерации Ольга Голодец,Министр образования и науки Российской Федерации Дмитрий Ливанов, и другие.


     30.11.2012

    Уважаемые пользователи сайта!

    С учётом развития инфраструктуры образовательного сегмента национальной нанотехнологической сети (ННС) и сетевого межуниверситетского взаимодействия при междисциплинарной подготовке и профессиональной переподготовке кадров для наноиндустрии появился новый сайт www.nano-obr.ru  (анонс), в состав которого входят образовательные ресурсы, расположенные на www.e-learning.nanoobr.ru.


     18.11.2011

    Внимание!

    Регистрация новых слушателей, студентов, аспирантов, преподавателей вузов, учёных вузов и специалистов предприятий производится только на сайте www.nano-obr.ru.


     27.09.2011

    Конференции молодых учёных

    1) Традиционная IX Российская ежегодная конференции молодых научных сотрудников и аспирантов "Физико-химия и технология неорганических материалов"   http://www.m.imetran.ru

    2) Третья Всероссийская молодёжная конференция «Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества» с элементами научной школы   http://www.func.imetran.ru

      

    О нас пишут

    На сайте (www.rusnor.org) Президент Нанотехнологического общества России (2010-2012 гг.) — Быков Виктор Александрович в статье «Подготовка кадров для наноиндустрии: государство или энтузиасты?»


     

     © 2009 НАНООБР
    Междисциплинарное обучение