Поиск по сайту
 
Расширенный поиск
 

Вернуться назад

Технологические процессы в наноинженерии

Учебный курс предназначен для краткосрочного повышения квалификации преподавателей и научных работников высшей школы по направлению «Наноинженерия» на базе учебного курса «Технологические процессы в наноинженерии».

Цель:  Изучение современных технологий производства объектов наноинженерии и применяемым для этих целей технологическим оборудованием, методам проектирования и контроля качества, а также сформировать у них интерес к данной области науки и техники и устойчивую мотивацию к самообразованию.

Задачами данного курса является изучение:
o    освоение методических аспектов преподавания курса в рамках реализации программ подготовки бакалавров/магистров по направлению «Наноинженерия»
o    существующих технологических процессов производства объектов наноинженерии и используемого для этих целей технологического оборудования;
o    существующих методов контроля качества технологических процессов наноинженерии;
o    электрофизических и физико-химических свойств полупроводниковых и иных материалов, применяемых при формировании объектов наноинженерии;
o    физико-химических процессов, протекающих в технологических операциях цикла производства объектов наноинженерии;
o    разновидностей технологических процессов, применяемых для производства объектов наноинженерии;
o    перспектив развития технологических процессов, применяемых для производства объектов наноинженерии.

Учебный курс «Технологические процессы в наноинженерии» состоит из дистанционной и очной частей.
Дистанционная часть учебного образовательного курса обеспечивает слушателя необходимым объёмом знаний по выбранной тематике, включая подготовку слушателя к проведению лабораторного практикума. Задача дистанционной составляющей учебного курса – подготовить слушателя к очному посещению лаборатории в Московском Государственном Техническом Университете им. Н. Э. Баумана.
В дистанционной (теоретической) части учебного курса изложены основы технологических процессов, применяемых при формировании объектов наноинженерии. Теоретическая часть учебного курса состоит из тринадцати лекций.
Очная (экспериментальная) часть учебного курса заключается в прохождении студентами лабораторного практикума. Все практические занятия по курсу проходят в специализированной лабораторной аудитории, оборудованной техническими средствами – микроскопами, с помощью которых студенты проводят исследование поверхностей объектов наноинженерии (интегральных микросхем).
Основные задания на лабораторный практикум:
- Анализ топологии полупроводниковой интегральной микросхемы;
- Анализ состава и размещения элементов базового матричного кристалла;
- Исследование точности совмещения комплекта фотошаблонов;
- Исследование тестовых структур.
  • Краткое содержание
  • Объем (в часах)
  • Шифр
  • Рекомендован для
  • Характер и сложность представленного материала
  • Требования
  • НОЦ
  • Автор(ы)
  • Редактор
  • Направления программ повышения квалификации

    Вернуться назад



    Реферативное содержание лекций:

    Наименование
    Лекция 1: Введение в технологию производства объектов микро- и наносистемной техники
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 2: Технологические циклы формирования структур объектов наноинженерии
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 3: Толстопленочная технология производства объектов наноинженерии
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 4: Вакуумное осаждение тонких пленок
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 5: Невакуумные методы формирования диэлектрических тонких
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 6: Основные свойства полупроводниковых и иных материалов, применяемых в технологических процессах формирования микро- и наноструктур
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 7: Избирательное легирование полупроводниковых материалов
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 8: Формирование объектов наноинженерии эпитаксиальным наращиванием
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 9: Литография в наноинженерии
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 10: Контроль качества объектов наноинженерии.
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 11: Технология коммутационных плат микросборок
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 12: Сборка объектов наноинженерии в микро- и наносистему
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии
    Лекция 13: Герметизация объектов наноинженерии
    / МГТУ им. Н.Э. Баумана / Технологические процессы в наноинженерии


     
     
    Объявления

    О создании федеральной инновационной площадки на базе порталов www.nano-obr.ru и www.nanoobr.ru

       С принятием Федерального закона № 273 «Об образовании в Российской Федерации» и появлением статьи 15. “Сетевая форма реализации образовательных программ”, а также cтатьи 16. “Реализация образовательных программ с применением электронного обучения и дистанционных образовательных технологий”, применение новых технологий обучения при подготовке кадров и повышении квалификации специалистов для наноиндустрии становиться актуальным. Статья 20. “Экспериментальная и инновационная деятельность в сфере образования” допускает экспериментальную деятельность по разработке, апробации и внедрению новых образовательных технологий, образовательных ресурсов в форме реализации инновационных проектов и программ, имеющих существенное значение для обеспечения развития системы образования, если они признаются федеральными или региональными инновационными площадками.


     05.09.2013

    О координирующей деятельности в образовательном сегменте ННС

    Координирующая деятельность в образовательном сегменте национальной нанотехнологической сети (ННС) поручена НИЯУ МИФИ и СПбГЭТУ ЛЭТИ (решение Совета ННС, протокол от 17 апреля 2013 г. № ИФ-13/14пр).


     04.09.2013

    28 ноября в МЭСИ состоялось совещание по вопросам электронного обучения в России.

    В работе совещания приняли участие заместитель Председателя Правительства Российской Федерации Ольга Голодец,Министр образования и науки Российской Федерации Дмитрий Ливанов, и другие.


     30.11.2012

    Уважаемые пользователи сайта!

    С учётом развития инфраструктуры образовательного сегмента национальной нанотехнологической сети (ННС) и сетевого межуниверситетского взаимодействия при междисциплинарной подготовке и профессиональной переподготовке кадров для наноиндустрии появился новый сайт www.nano-obr.ru  (анонс), в состав которого входят образовательные ресурсы, расположенные на www.e-learning.nanoobr.ru.


     18.11.2011

    Внимание!

    Регистрация новых слушателей, студентов, аспирантов, преподавателей вузов, учёных вузов и специалистов предприятий производится только на сайте www.nano-obr.ru.


     27.09.2011

    Конференции молодых учёных

    1) Традиционная IX Российская ежегодная конференции молодых научных сотрудников и аспирантов "Физико-химия и технология неорганических материалов"   http://www.m.imetran.ru

    2) Третья Всероссийская молодёжная конференция «Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества» с элементами научной школы   http://www.func.imetran.ru

      

    О нас пишут

    На сайте (www.rusnor.org) Президент Нанотехнологического общества России (2010-2012 гг.) — Быков Виктор Александрович в статье «Подготовка кадров для наноиндустрии: государство или энтузиасты?»


     

     © 2009 НАНООБР
    Междисциплинарное обучение