Поиск по сайту
 
Расширенный поиск
 

Вернуться назад

Современные проблемы технологии наноэлектроники

Учебный курс «СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ ТЕХНОЛОГИИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ»  предназначен для краткосрочного повышения квалификации преподавателей и научных работников высшей школы по направлению  «Наноэлектроника, компонентная база и устройства. Физические принципы. Применяемые технологии при разработке и создании».

Целью данного курса является ознакомление с основными принципами формирования современных конструкций кремниевых УБИС и особенностями конструктивного - технологического исполнения КМОП и БиКМОП ИС с нанометровыми минимальными размерами.

Программа обучения рассчитана на специалистов в области технологии и проектирования перспективной элементной базы, маршрутов изготовления ИС и систем на кристалле, а также для специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники.

Предметом курса является современная технология интегральной наноэлектроники, позволяющая создавать интегральные схемы и системы на кристалле с нанометровыми проектными нормами. Программа курса включает обзор современных конструкций кремниевых УБИС  и технологических маршрутов их изготовления, а также наиболее критичных процессов в технологии кремниевой наноэлектроники. В их числе будут рассмотрены:
-    формирование подзатворных диэлектриков в технологии наноразмерных КМОП интегральных микросхем, анализ процесса подзатворного окисления и свойств оксида кремния, улучшение характеристик подзатворных окислов методом нитрирования.
-    формирование поликремниевых затворов для наноразмерных МОП- транзисторов,  легирование поликремния, формирование затворов n+- и p+-типов осаждением легированных слоев поликремния, салицидная технология формирования затворов наноразмерных МОПТ, затворы на основе силицида титана, силицидные затворы на основе CoSi2.
-    особенности формирования металлизированной  разводки в наноразмерных КМОП интегральных схемах, особенности медной разводки, технологии создания медной разводки на кремниевом кристалле интегральной микросхемы, двойной дамасский процесс, материалы для диффузионно-барьерного слоя, электрохимическое осаждение меди, химико-механическая и электрохимическая полировка слоя меди.

Учебный курс «СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ ТЕХНОЛОГИИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ» состоит из дистанционной и очной частей.

Дистанционная часть учебного образовательного курса обеспечивает слушателя необходимым объёмом знаний по выбранной тематике, включая подготовку слушателя к проведению лабораторного практикума. Задача дистанционной составляющей учебного курса – подготовить слушателя к очному посещению лаборатории в государственном образовательном учреждение высшего профессионального образования «Московский государственный институт электронной техники (технический университет)».

В дистанционной (теоретической) части учебного курса изложены физические  и технологические основы формирования подзатворных диэлектриков, поликремниевых затворов в технологии наноразмерных КМОП интегральных микросхем, салицидная технология формирования затворов, особенности формирования металлизированной  разводки в наноразмерных КМОП. Теоретическая часть учебного курса состоит из четырех лекций.

Очная (экспериментальная) часть учебного курса заключается в изучении методов анализа технологических слоев в наноразмерных ИС с использованием сканирующей зондовой микроскопии.В ходе работы слушатель знакомится:
1)    с принципами сканирующей зондовой микроскопии
2)    с основными узлами и управляющей программой сканирующего зондового микроскопа
и обучается:
3)    получению изображений рельефа в контактном, полуконтактном и электропроводящем режимах
4)    получению топографии поверхности слоев, картины растекания тока, фазового изображения.
  • Объем (в часах)
  • Шифр
  • Рекомендован для
  • Характер и сложность представленного материала
  • Требования
  • НОЦ
  • Автор(ы)
  • Направления программ повышения квалификации

    Вернуться назад



    Реферативное содержание лекций:


     
     
    Объявления

    О создании федеральной инновационной площадки на базе порталов www.nano-obr.ru и www.nanoobr.ru

       С принятием Федерального закона № 273 «Об образовании в Российской Федерации» и появлением статьи 15. “Сетевая форма реализации образовательных программ”, а также cтатьи 16. “Реализация образовательных программ с применением электронного обучения и дистанционных образовательных технологий”, применение новых технологий обучения при подготовке кадров и повышении квалификации специалистов для наноиндустрии становиться актуальным. Статья 20. “Экспериментальная и инновационная деятельность в сфере образования” допускает экспериментальную деятельность по разработке, апробации и внедрению новых образовательных технологий, образовательных ресурсов в форме реализации инновационных проектов и программ, имеющих существенное значение для обеспечения развития системы образования, если они признаются федеральными или региональными инновационными площадками.


     05.09.2013

    О координирующей деятельности в образовательном сегменте ННС

    Координирующая деятельность в образовательном сегменте национальной нанотехнологической сети (ННС) поручена НИЯУ МИФИ и СПбГЭТУ ЛЭТИ (решение Совета ННС, протокол от 17 апреля 2013 г. № ИФ-13/14пр).


     04.09.2013

    28 ноября в МЭСИ состоялось совещание по вопросам электронного обучения в России.

    В работе совещания приняли участие заместитель Председателя Правительства Российской Федерации Ольга Голодец,Министр образования и науки Российской Федерации Дмитрий Ливанов, и другие.


     30.11.2012

    Уважаемые пользователи сайта!

    С учётом развития инфраструктуры образовательного сегмента национальной нанотехнологической сети (ННС) и сетевого межуниверситетского взаимодействия при междисциплинарной подготовке и профессиональной переподготовке кадров для наноиндустрии появился новый сайт www.nano-obr.ru  (анонс), в состав которого входят образовательные ресурсы, расположенные на www.e-learning.nanoobr.ru.


     18.11.2011

    Внимание!

    Регистрация новых слушателей, студентов, аспирантов, преподавателей вузов, учёных вузов и специалистов предприятий производится только на сайте www.nano-obr.ru.


     27.09.2011

    Конференции молодых учёных

    1) Традиционная IX Российская ежегодная конференции молодых научных сотрудников и аспирантов "Физико-химия и технология неорганических материалов"   http://www.m.imetran.ru

    2) Третья Всероссийская молодёжная конференция «Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества» с элементами научной школы   http://www.func.imetran.ru

      

    О нас пишут

    На сайте (www.rusnor.org) Президент Нанотехнологического общества России (2010-2012 гг.) — Быков Виктор Александрович в статье «Подготовка кадров для наноиндустрии: государство или энтузиасты?»


     

     © 2009 НАНООБР
    Междисциплинарное обучение